GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
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基本信息
标准名称: | 物理气相沉积TiN薄膜技术条件 |
英文名称: | Specifications of physical vapour deposition TiN films |
中标分类: | 综合 >> 基础标准 >> 材料防护 |
ICS分类: | 机械制造 >> 表面处理和涂覆 >> 表面处理 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
发布日期: | 2002-03-10 |
实施日期: | 2002-08-01 |
首发日期: | 2002-03-10 |
作废日期: | 1900-01-01 |
主管部门: | 中国机械工业联合会 |
提出单位: | 中国机械工业联合会 |
归口单位: | 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会 |
起草单位: | 武汉材料保护研究所 |
起草人: | 凌国伟、李健、倪瀚、黄济群 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2002-08-01 |
页数: | 平装16开, 页数:23, 字数:39千字 |
书号: | 155066.1-28611 |
适用范围
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAlN等)。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 综合 基础标准 材料防护 机械制造 表面处理和涂覆 表面处理
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